一种泡生法制备蓝宝石单晶的生长方法
基本信息
申请号 | CN201410135638.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103966661A | 公开(公告)日 | 2014-08-06 |
申请公布号 | CN103966661A | 申请公布日 | 2014-08-06 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 | 申请(专利权)人 | 七台河奥瑞德光电技术有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种泡生法制备蓝宝石单晶的生长方法。它主要包括以下控制阶段:放肩、等径生长和收尾阶段,引晶结束后即为放肩阶段,放肩阶段分为放肩初期和放肩后期,通过调节电压控制降温速度并配合晶体提拉速度,实现放肩初期平稳生长,生长20~25h后晶体重量达到1.5kg左右,进入放肩后期阶段,电压调节量小于放肩初期,放肩后期增大提拉速度并缓慢降温,生长45~52h,晶体重量约4kg后进入等径生长阶段,等径生长阶段减小晶体的提拉速度,同时加快降温,生长75h,晶体重量约为28kg~32kg后进入收尾阶段,收尾阶段进一步减慢降温速度并快速提拉,实现自动拉脱。本发明能够解决传统泡生法生长蓝宝石单晶内部存在较多气泡的问题。 |
