一种蓝宝石单晶炉保温结构
基本信息
申请号 | CN201420545157.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN204298507U | 公开(公告)日 | 2015-04-29 |
申请公布号 | CN204298507U | 申请公布日 | 2015-04-29 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 | 申请(专利权)人 | 七台河奥瑞德光电技术有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种蓝宝石单晶炉保温结构。它包括上部保温结构、下部保温结构、侧面保温结构及侧屏顶部的双层挡板结构,上部保温结构为圆形钼隔热屏及氧化锆纤维砖保温结构,侧面保温结构分内外两层,分别为由氧化锆纤维砖和氧化铝砖制成的圆桶形结构,侧面保温结构顶部搭放两层环形氧化锆纤维砖结构,下部保温结构为圆形氧化锆纤维砖保温层和氧化铝砖结构,且二者中心留有与支柱直径相匹配的圆形通孔。本实用新型具有温场更加稳定、温度控制精确性和自动化程度更高、设备可靠性高、制造成本更低等特点。 |
