一种蓝宝石单晶炉保温结构

基本信息

申请号 CN201420545157.8 申请日 -
公开(公告)号 CN204298507U 公开(公告)日 2015-04-29
申请公布号 CN204298507U 申请公布日 2015-04-29
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 申请(专利权)人 七台河奥瑞德光电技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种蓝宝石单晶炉保温结构。它包括上部保温结构、下部保温结构、侧面保温结构及侧屏顶部的双层挡板结构,上部保温结构为圆形钼隔热屏及氧化锆纤维砖保温结构,侧面保温结构分内外两层,分别为由氧化锆纤维砖和氧化铝砖制成的圆桶形结构,侧面保温结构顶部搭放两层环形氧化锆纤维砖结构,下部保温结构为圆形氧化锆纤维砖保温层和氧化铝砖结构,且二者中心留有与支柱直径相匹配的圆形通孔。本实用新型具有温场更加稳定、温度控制精确性和自动化程度更高、设备可靠性高、制造成本更低等特点。