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一种安全高效的自动扩膜设备

基本信息

申请号 CN202021036726.8 申请日 -
公开（公告）号 CN212084963U 公开（公告）日 2020-12-04
申请公布号 CN212084963U 申请公布日 2020-12-04
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨云龙;吴家炜;胡章坤 申请（专利权）人 江苏京创先进电子科技有限公司
代理机构 苏州市小巨人知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 江苏京创先进电子科技有限公司
地址 215500江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，压盘安装架上安装有与工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对工作安装台可上下升降位移；其中，工作加载面外周设有扩膜内环，扩晶环压盘内周设有与扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时工作安装台上设有用于将压盘安装架与工作安装台进行锁紧的锁紧模块；本实用新型安装结构简单，制造成本低，操作过程安全，而且具有稳定可靠的挤压扩膜效果，非常适合规模推广应用。