一种超薄薄膜电化学沉积系统
基本信息
| 申请号 | CN201910161419.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109735880A | 公开（公告）日 | 2019-05-10 |
| 申请公布号 | CN109735880A | 申请公布日 | 2019-05-10 |
| 分类号 | C25D3/38（2006.01）I; C25D5/10（2006.01）I; C25D17/12（2006.01）I; C25D21/12（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 叶颖辉 | 申请（专利权）人 | 深圳市汇美新科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市汇美新科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路441号龙岗天安数码创新园二号厂房A304 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种超薄薄膜电化学沉积系统，放卷模块，用于放卷膜面；前处理模块，用于微蚀洗及清洁膜面的表面；第一沉积模块，用于对膜面的双面预镀沉积复合铜层；第二沉积模块，用于对膜面的复合铜层进行双面增厚沉积铜层；清洗模块，用于对膜面进行清洗；保护层沉积模块，用于在清洗后的膜面上沉积保护层；后处理模块，用于对膜面进行清洁、烘干、切割；收卷模块，用于收卷膜面。采用本发明的超薄薄膜电化学沉积系统，可以快速进行超薄薄膜的电镀加工，一次即可完成双面电镀，加工效率高，并且机构设置合理，有效节约了生产成本，提高了生产效率，质量可控，张力控制精度高，超薄薄膜的外观性能好。 |
