一种异质结叠瓦太阳能电池的切片方法
基本信息
申请号 | CN201810711064.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110676163B | 公开(公告)日 | 2022-02-08 |
申请公布号 | CN110676163B | 申请公布日 | 2022-02-08 |
分类号 | H01L21/304(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黄辉明;庄辉虎;罗骞;张杰;宋广华 | 申请(专利权)人 | 福建钜能电力有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 351111福建省莆田市涵江区国欢东路655号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种异质结叠瓦太阳能电池的切片方法,包括如下步骤:在n型硅片一面沉积薄层本征非晶硅层及n型非晶硅层,另一面沉积薄层本征非晶硅层及p型非晶硅层,并在n型非晶硅层和p型非晶硅层上沉积导电膜层;在n型硅片n面与p面的四周及切割区域的导电膜层上印刷蚀刻膏;在印有蚀刻膏的n型硅片进行烘烤,清洗去除n型硅片上印有蚀刻膏区域的非晶硅层和导电膜层;在n型硅片导电膜层上形成金属栅线电极;在n型硅片切割区域用激光切割成若干均等的小片n型硅片。本发明采用印刷的方式在n型硅片的双面边缘及切割区域印刷蚀刻膏,将非晶硅层和导电膜层去除,提升异质结叠瓦太阳能电池的性能和可靠性,工艺过程简单,利于大规模自动化生产。 |
