一种复合纳米压印软模板
基本信息
| 申请号 | CN201520214157.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205080364U | 公开（公告）日 | 2016-03-09 |
| 申请公布号 | CN205080364U | 申请公布日 | 2016-03-09 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 马慧军;王鹏;韦冬 | 申请（专利权）人 | 苏州锦富技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 苏州锦富新材料股份有限公司;苏州锦富技术股份有限公司 |
| 地址 | 215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种复合纳米压印软模板，具体制备为先制备由PDMS树脂层组成的弹性层，再制备由UV树脂层组成的硬质层，然后将弹性层覆于硬质层之上，固化后得到复合纳米压印软模板。本实用新型采用多层递进变化方法制备的复合纳米压印软模板，既可以获得较高硬度的结构层，又可以解决高硬度层脱落和开裂的问题；并且制备工艺简易、成本低，适于工业化生产。 |
