一种用于PCB内层板的对准装置及对准方法
基本信息
| 申请号 | CN202110232283.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112987517A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112987517A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | G03F9/00;G03F1/42;G03F7/20;H05K3/06;H05K3/46 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 霍大云;张斌;刘麟跃;刘伟 | 申请（专利权）人 | 锡凡半导体无锡有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35号206 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及激光直写光刻技术的领域，尤其是涉及一种用于PCB内层板的对准装置及对准方法，其包括光源、准直装置、掩膜板，平台的一边角处开有通孔，光源连接在平台的底侧且位于通孔的下方，准直装置连接于光源的上侧，掩膜板的表面设有第一掩膜图形、第二掩膜图形，第一掩膜图形位于通孔的下方，光源发出的光线依次经过准直装置、掩膜板、通孔后映射在PCB内层板的反面，第二掩膜图形位于平台的外侧，光刻设备上滑移连接有对位相机。获取标记与曝光系统的实际位置关系的方法为正面曝光→对位→标记→复位→反面曝光。本申请具有获取标记与曝光系统的实际位置关系，从而确定PCB内层板正反面曝光图形的相对位置的效果。 |
