一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110223813.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113009795A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113009795A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G03F9/00;G01K11/12 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 霍大云;张斌;刘麟跃;刘伟 | 申请（专利权）人 | 锡凡半导体无锡有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35号206 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及激光成像的领域，尤其是涉及一种图像检测装置及运用图像检测装置的检测方法，图像检测装置包括基底，基底为方形杆，基底的表面涂有感温变色材料，运用图像检测装置的检测方法，其技术方案要点是：初定位：将基底固定在吸盘上；再定位：将基底移动至出光镜头的下方；激光对焦：调节基底的位置使得激光投射在感温变色材料上；激光成像：激光在感温变色材料上成红色图像；图像获取：将基底移动至对位相机的下方，对位相机对红色图像进行抓拍；图像对比：对位相机将获取的红色图像传输到对比系统与原图进行对比，对比系统输出结果。本申请具有提高变色标记的稳定性，从而便于对激光直写光刻设备进行图像校准的效果。 |
