蚀刻液及蚀刻液的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811337370.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109536961B | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN109536961B | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨丁;黄双武 | 申请（专利权）人 | 广东东明新材科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 叶剑 |
| 地址 | 518101广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区福海信息港A7栋411-423 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种蚀刻液及蚀刻液的制备方法，蚀刻液包括如下质量浓度的各组分：过硫酸铵150克/升‑350克/升；稳定剂10克/升‑110克/升；促进剂0.01克/升‑0.05克/升；表面活性剂0.001克/升‑0.5克/升；水余量。上述蚀刻液，相对于传统的蚀刻液，未含氯，因此，蚀刻液体系中未包含氯离子，不会对环境产生污染，消除了因氯离子所造成的环境及大气污染，有利于清洁生产。且在蚀刻过程中，铣切速度较快，能够适用于铜基线路板的化学铣切。 |
