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一种基于高灵敏度相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法

基本信息

申请号 CN201911040552.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112747862A 公开（公告）日 2021-05-04
申请公布号 CN112747862A 申请公布日 2021-05-04
分类号 G01M3/04;G01N21/552 分类 测量；测试;
发明人 何赛灵;刘振超 申请（专利权）人 亘冠智能技术（杭州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 310015 浙江省杭州市滨江区华创大厦701室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，可以有效地解决现有技术中配置价格昂贵，灵敏度不够以及检测实时性不够且操作复杂等缺点。系统包括：激光器、起偏器、棱镜相位调制模块、SPR传感模块、SPR传感气室、气压平衡装置（或者抽气装置）、待检测气体容器、检偏器、光强探测器，激光光源发出的光经过起偏器，变成线偏光，经过棱镜相位调制模块，被调制为具有不同相位的椭偏光，再经过SPR传感气室内的SPR传感模块，最后经过检偏器和光强探测器测量并计算得到SPR传感的携带气体折射率信息的相位响应值，最终通过相位响应值的变化来表征气体容器的泄漏状态。