一种降低芯片损伤率的吸嘴
基本信息
申请号 | CN202023007666.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213905336U | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN213905336U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | H01L21/683;H01L21/66 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 邓国发;刘海波 | 申请(专利权)人 | 深圳广盛浩科技有限公司 |
代理机构 | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 计小玲 |
地址 | 518031 广东省深圳市福田区保税区桃花路6号腾飞工业大厦B栋十一层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及LD芯片测试领域,具体为一种降低芯片损伤率的吸嘴,包括吸嘴头,吸嘴头顶部设置有气管管座,气管管座内设置有管座孔,气管管座一侧设置有用于对吸嘴进行周向固定的侧切面,吸嘴头与气管管座之间的连接部位设置有气管限位台阶,吸嘴头内贯穿设置有延伸至管座孔内的吸气孔,吸嘴头底部设置有平面,平面内交叉设置有第一吸嘴凹槽和第二吸嘴凹槽。芯片在被吸附时从点接触或线接触变成面接触,通过在吸嘴头头部平面上开设两个呈九十度交叉的第一吸嘴凹槽和第二吸嘴凹槽,第一吸嘴凹槽和第二吸嘴凹槽的宽度和深度大于芯片上表面凸起部分的宽度和高度,有效避免了芯片在被吸附时造成的损伤。 |
