一种晶圆金属环存放架

基本信息

申请号 CN202022934210.1 申请日 -
公开(公告)号 CN213922098U 公开(公告)日 2021-08-10
申请公布号 CN213922098U 申请公布日 2021-08-10
分类号 B65D25/04(2006.01)I;B65D25/02(2006.01)I;B65D6/08(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 邓国发;刘海波 申请(专利权)人 深圳广盛浩科技有限公司
代理机构 北京睿博行远知识产权代理有限公司 代理人 计小玲
地址 518031 广东省深圳市福田区保税区桃花路6号腾飞工业大厦B栋十一层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出了一种晶圆金属环存放架,包括顶框和底杆,所述底杆之间通过连接片固定连接,所述顶框和所述底杆之间设有分层框和条形的分隔板,两个所述分层框之间形成存放槽,所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块,所述凸块之间连接有螺纹杆。本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽,同时结合螺纹杆与凸块的配合,能够精准的对晶圆金属环进行限位固定,避免出现杂乱的情况,而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量,以此调节存放槽的厚度,来满足不同厚度的晶圆金属环的存放,避免出现一格多放等情况;本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔,对金属环具有分隔、导向的作用。