一种硅料清洗工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010722606.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111673625A | 公开（公告）日 | 2020-09-18 |
| 申请公布号 | CN111673625A | 申请公布日 | 2020-09-18 |
| 分类号 | B24C11/00;B24C1/00 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李建波;刘杰;马自成 | 申请（专利权）人 | 四川永祥光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李赫 |
| 地址 | 614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅料清洗工艺，其通过依次进行的送料、喷砂以及清理等操作步骤，利用碳化硅粉将硅料的表层全部打磨掉，从而能够彻底去除附着于硅料表层的金属杂质，由于采用碳化硅作为喷砂介质，使得喷砂作业完成后仅需纯水即可将残留于硅料表面的碳化硅粉清洗干净，无需酸洗或碱洗等化学清洗操作，从而大大降低了整个工艺流程的污水处理压力，避免发生水体污染现象，降低了工艺成本和操作难度，简化了工艺流程，并显著提高了硅料清洗效果和清洗处理效率。 |
