一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202022267658.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214417052U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214417052U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | B08B1/00（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张峰 | 申请（专利权）人 | 西安重光明宸检测技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 燕肇琪 |
| 地址 | 710077陕西省西安市高新区丈八街办瞪羚路26号西安理工大学科技园E座312-05 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，涉及清洗设备技术领域，包括外壳，所述外壳的内壁底部焊接有水箱，所述水箱的正表面开设有进水口，所述水箱的内部安装有过滤网，所述水箱的左侧开设有圆孔，且圆孔内表面贯穿安装有上水管，所述水箱的顶部开设有污水口，所述水箱的顶部固定安装固定板，所述水箱的顶部焊接有第一滑道，所述水箱的顶部焊接有第二滑道。本实用新型中，喷淋器将水往下喷淋，可以将晶圆进行清洗，水在喷淋时挡水板可以将喷淋的水通过污水口收集到水箱内部，水箱内部的过滤网可以对污水进行过滤，可以使水循环利用，挡水板可以阻挡水不伤害电机。 |
