多晶硅生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201610092668.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107098348B | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN107098348B | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | C01B33/03（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 齐林喜;郭金强 | 申请（专利权）人 | 巴彦淖尔聚光硅业有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 储照良 |
| 地址 | 015500 内蒙古自治区巴彦淖尔市乌拉特后旗青山工业园区经三路与纬四路交叉口东南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多晶硅生产工艺，包括如下步骤：硅棒初步生长步骤：在还原炉里通入氢气和二氯二氢硅，在硅芯表面生成多晶硅使硅棒生长到预定尺寸；硅棒完整生长步骤：通入三氯氢硅、二氯二氢硅和氢气的混合气体，完成硅棒生长；开炉步骤:待硅棒生长完成后，打开还原炉，取出硅棒。本发明的多晶硅生产工艺，采用两段生长的方式，开始采用二氯二氢硅和氢气反应的方式，比常规氢气还原三氯氢硅的方式生长速度快，一般倒棒的事故多发生在晶棒生长的前期，这就减少倒棒发生的可能，本发明的多晶硅生产工艺，能够减少倒棒率，降低生产成本。硅棒完整生长阶段，加入有部分二氯二氢硅，可以有效地增加硅的生成率，提高原料的转化效率10%到15%。 |
