多晶硅的还原生产
基本信息
| 申请号 | CN201810370079.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110395735A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110395735A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | C01B33/035（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 齐林喜; 陈建宇; 郝爱科; 赵亮 | 申请（专利权）人 | 巴彦淖尔聚光硅业有限公司 |
| 代理机构 | 北京迎硕知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张群峰;钱扬保 |
| 地址 | 015543 内蒙古自治区巴彦淖尔市乌拉特后旗青山工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 多晶硅的还原生产方法，包括：提供还原炉；将多个硅芯棒安装在还原炉中，控制炉内有效单位体积内硅芯生长表面面积；向还原炉中通入氢气和三氯氢硅混合气体原料；控制还原炉内温度；在硅芯棒上生长多晶硅体，控制炉内有效单位体积内最终长成的多晶硅体表面积；停止通入混合气体原料，并切换为通入氢气，直至还原炉内温度降低至预定值。 |
