多晶硅生产工艺及系统
基本信息
| 申请号 | CN201510281151.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106276917B | 公开（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申请公布号 | CN106276917B | 申请公布日 | 2019-01-22 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 齐林喜;陈杰;赵亮 | 申请（专利权）人 | 巴彦淖尔聚光硅业有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 聂智 |
| 地址 | 015500 内蒙古自治区巴彦淖尔市乌拉特后旗青山工业园区经三路与纬四路交叉口东南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种多晶硅生产工艺，该工艺包括如下步骤：将原料四氯化硅加热汽化并与原料氢气按比例混合成汽化处理后气体；将汽化处理后气体注入氢化反应装置中使四氯化硅与氢气在氢化反应装置中进行冷氢化反应，生成包含有三氯氢硅的总反应生成气；将总反应生成气中的三氯氢硅冷凝分离出来；其中，所述氢化反应装置包括用于接收汽化处理后气体的第一级氢化反应器，及与第一级氢化反应器串联的次级氢化反应器，所述工艺还包括将汽化后的四氯化硅直接补充到次级氢化反应器中的步骤，该工艺有效提高了三氯氢硅的产出率。 |
