气体充装系统及充装方法
基本信息
| 申请号 | CN201911355853.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110966518A | 公开（公告）日 | 2020-04-07 |
| 申请公布号 | CN110966518A | 申请公布日 | 2020-04-07 |
| 分类号 | F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 马栋梁;陈意桥;张国祯;于天 | 申请（专利权）人 | 苏州焜原光电有限公司 |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | 苏州焜原光电有限公司 |
| 地址 | 215211 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明针对采用现有技术氦气充装方法和设备进行氦气充装时使得氦气的纯度降低，造成氦气压缩机性能低、寿命低，运行成本高的不足，提供一种气体充装系统及充装方法，该发明在供气管道的与供气容器相连接的一端设置有调压阀、过滤器和隔离阀一，在与被充装装置相连接的一端设置有隔离阀五，过滤器位于隔离阀一和调压阀间，还设置有高真空泵和真空规，以及加热装置和温度检测装置，加热装置的加热器件与温度控制装置的输出端电连接，温度检测装置与温度控制装置的输入端电连接；采用本发明方法及系统充装气体，可以比较彻底地抽出残余气体，同时运用RGA监控气体成份，对气体成份进行实时扫描监测，以达到空间内残余气体含量的最低化。 |
