分子束外延系统中GaSb衬底安装固定用样品架专利查询专利号|摘要-满商公司网

分子束外延系统中GaSb衬底安装固定用样品架

基本信息

申请号	CN202023235493.7	申请日	-
公开（公告）号	CN214142609U	公开（公告）日	2021-09-07
申请公布号	CN214142609U	申请公布日	2021-09-07
分类号	C30B25/12（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	陈意桥;王伟强;周浩	申请（专利权）人	苏州焜原光电有限公司
代理机构	北京中济纬天专利代理有限公司	代理人	于宏伟
地址	215211江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
法律状态	-

摘要

本实用新型是针对现有技术中固定GaSb衬底的方法存在的易使衬底软化、衬底的温度均匀性不易保证的不足，提供分子束外延系统中GaSb衬底安装固定用样品架，样品架包括筒体、钽片和压紧固定装置，在筒体内表面设置有支撑结构，钽片设置在支撑结构上，压紧固定装置位于钽片上方将钽片固定在筒体内，采用本实用新型的样品架，不会带来杂质，钽片位于钼质的筒体上设置的支撑结构上，钽片被压紧固定装置固定在支撑结构上，可防止使用过程中钽片移动，能保证加热均匀性，钽片具有一定的硬度，可以很好地支撑衬底，不会变形，完美地巧妙地解决了现有技术钼托样品架存在的技术问题，通过张紧力自动固定在筒体内，实现固定，因此，使钽片的固定简单、易操作。