一种半导体芯片用光阻液喷涂装置
基本信息
| 申请号 | CN202021549026.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212759317U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212759317U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | B05B14/00(2018.01)I;B01D46/10(2006.01)I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 雷晓宏 | 申请（专利权）人 | 固安浩瀚光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 065500河北省廊坊市固安县工业园区南区环保产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括台面，台面上设置有内置槽，内置槽的内壁上固定有支撑块，支撑块上架立有与内置槽滑动塞入的网板，网板起到一个回流过滤的效果，网板上固定有定位座，定位座内设置有半导体芯片本体，台面上固定有防护框，防护框上固定有缸体，缸体为液压缸，行程足够，推力稳定，缸体上固定有顶板。通过网板能够在喷洒光阻液时，对光阻液进行废渣过滤，通过内置槽对光阻液进行收集，最后，通过泵体抽出，实现光阻液循环使用，减少浪费。 |
