首页/ 固安浩瀚光电科技有限公司/ 专利详情

一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置及其使用方法

基本信息

申请号 CN202010753291.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111863597A 公开（公告）日 2020-10-30
申请公布号 CN111863597A 申请公布日 2020-10-30
分类号 H01L21/02(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 雷晓宏 申请（专利权）人 固安浩瀚光电科技有限公司
代理机构 北京圣州专利代理事务所（普通合伙） 代理人 固安浩瀚光电科技有限公司
地址 065500河北省廊坊市固安县工业园区南区环保产业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置及其使用方法，涉及半导体陶瓷生产处理技术领域。包括内洗搭载基台，内洗搭载基台的一端通过螺钉固定有三个步进电机。本发明专利通过转动输出调节结构和自动陶瓷装夹结构的配合设计，使得装置便于完成对半导体陶瓷的自动防破损分批次装夹，避免了装夹过程中的人力锁紧和装夹接触破损，并通过转动输出调节完成一体的带动便于完成多个方向的上料及搅拌清洁和离心甩干；且通过循环净化清洁用水结构的设计，使得装置便于完成对清洁用水的多段式净化处理，使得清洗过程中节省大量的水资源并避免了混杂工业污染的水直接排出，提高装置的使用经济效益和环境保护性能。