一种半导体废气处理用进气系统及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202111172337.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114100303A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114100303A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | B01D53/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 杨春水;张坤;杨春涛 | 申请（专利权）人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京匠桥专利代理有限公司 | 代理人 | 王冰冰 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市江北产业集中区科技孵化器12号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种半导体废气处理用进气系统及控制方法，进气系统包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。本发明通过合理设置进气系统，当废气处理装置进气口气量过大导致压力瞬间升高时，启动气体缓存进气管路，保证设备的正常运行。当进气压力恢复正常后自动切换回原进气管路。 |
