一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔
基本信息
申请号 | CN201920702329.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210473502U | 公开(公告)日 | 2020-05-08 |
申请公布号 | CN210473502U | 申请公布日 | 2020-05-08 |
分类号 | B01D53/18;B01D53/14;B01D47/06 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请(专利权)人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
代理机构 | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑直 |
地址 | 241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,涉及半导体行业废气处理技术领域,包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管,所述连接管上端卡箍连接水洗塔,所述水洗塔上设有数个水管连接头,本实用新型通过设置上层水洗塔、中层水洗塔、下层水洗塔,使得本装置拆卸、维护更加方便,通过设置溢流装置,给溢流装置通过设置上的水管连接车间自来水源,自来水进入溢流腔,随溢流口流入下连接件、中层水洗塔和下层水洗塔的内壁,从而对有污垢的塔壁进行水洗,通过在上层水洗塔上设置新风组合件,使得对上层水洗塔进行通风,减少了出口水气过多。 |
