一种适用于半导体制程废气处理设备
基本信息
| 申请号 | CN201920705640.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210473565U | 公开（公告）日 | 2020-05-08 |
| 申请公布号 | CN210473565U | 申请公布日 | 2020-05-08 |
| 分类号 | B01D53/78;B01D53/58;B01D53/46;B01D53/68;B01D47/06 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 席涛涛;王继飞;杨春水;陈彦岗;杨春涛;章文军;张坤;闫萧;蔡传涛;王磊 | 申请（专利权）人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑直 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用型新公开一种适用于半导体制程废气处理设备，涉及废气处理领域，包括前水洗设备、热反应设备、后水洗设备和水循环设备，增加前水洗设备，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水设备循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本实用型新优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。 |
