一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱
基本信息
| 申请号 | CN201920697383.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210473564U | 公开（公告）日 | 2020-05-08 |
| 申请公布号 | CN210473564U | 申请公布日 | 2020-05-08 |
| 分类号 | B01D53/78;B01D53/75 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请（专利权）人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑直 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱，涉及半导体行业废气清洁技术领域，包括水箱本体，所述水箱本体包括箱体和盖板，所述盖板上设有水洗塔连接口、反应腔连接口以及水泵架，所述水泵架上设有立式水泵，所述立式水泵连接有与废气处理设备中水洗塔连接的循环管路，本实用新型的箱体通过设置前维护窗口和左维护窗口，使得方便了观察箱体内部情况，方便了维护，箱体材质选择耐酸碱材料，使用寿命长，通过设置过滤板，使得箱体内大颗粒脏污被过滤板过滤，有利于立式水泵维护运行且不易损坏。 |
