一种测试装置
基本信息
| 申请号 | CN202122078523.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215769472U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215769472U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G05B23/02（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 宋朝阳;冯涛;常鑫;张悦超;李文博;董春辉;芮守祯;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京匠桥专利代理有限公司 | 代理人 | 王冰冰 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市江北产业集中区科技孵化器12号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种测试装置，包括半导体温控装置、循环液箱和用于连接半导体温控装置与循环液箱以形成循环输送循环液的循环输送管路，所述循环液箱内设有液位传感器浮球，所述测试装置还包括PLC和用于带动液位传感器浮球在循环液箱内升降运动的升降机构，所述半导体温控装置、液位传感器和升降机构均与PLC电连接。通过PLC（程序控制气缸自动伸缩，液位传感器浮球输出模拟量信号，便于检测在不同温度段液位传感器的模拟数值运行输出平稳，保证温控装置运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。 |
