一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体
基本信息
| 申请号 | CN201920705575.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210110718U | 公开（公告）日 | 2020-02-21 |
| 申请公布号 | CN210110718U | 申请公布日 | 2020-02-21 |
| 分类号 | H01L21/67;B01D53/74 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请（专利权）人 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑直 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体，包括入口管、外管、内管、出水管、进水管，所述外管和内管通过上法兰和下法兰焊接固定，所述外管设于内管外侧且两者之间形成一冷却腔，所述入口管有若干个，入口管安装于内管的侧面且呈周向分布，入口管的外端延伸至外管的外侧，冷却腔和入口管之间通过隔绝管密封，所述出水管和进水管分别设在外管壁上方和下方且和冷却腔相通,所述下法兰的侧面安装有与内管连通的进气管。这种半导体废气处理设备的废气反应腔体，在使用过程中隔热效果优越、密封性好、热能损失小、安装方便快捷。 |
