一种常压CVD设备的冷却水循环系统
基本信息
| 申请号 | CN201820474137.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208154907U | 公开（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申请公布号 | CN208154907U | 申请公布日 | 2018-11-27 |
| 分类号 | F25D17/02 | 分类 | 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化; |
| 发明人 | 赵江波;余庆;张晓新;张敏森;杨勇;王艳兵;方勇进 | 申请（专利权）人 | 华越微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华越微电子有限公司 |
| 地址 | 312000 浙江省绍兴市环城西路天光桥3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器、循环水箱、循环泵、流量计、喷头，所述的循环泵与流量计之间的管路上安装有第一单向阀；所述的喷头与热交换器之间的管路上安装有常闭阀,所述的常闭阀的两端安装有回路支管；所述的第一单向阀、流量计之间的管路与冷却水进水管之间安装有应急进水管路；所述的常闭阀、喷头之间的管路与冷却水出水管之间安装有应急出水管路；所述的应急进水管路、应急出水管路上分别安装有常开阀；所述的常开阀之后的应急进水管路上还安装有第二单向阀。采用本实用新型后，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。 |
