一种可对活塞环均匀镀膜的真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202121865988.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216107178U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216107178U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘家康;曹孔林;吴安华;周鹏 | 申请（专利权）人 | 仪征纳环科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇捷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宋鹤 |
| 地址 | 211400江苏省扬州市仪征汽车工业园区联众路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可对活塞环均匀镀膜的真空镀膜机，包括镀膜机筒、活塞环入口管、排气栅格圈、主动盘和离子束极柱，镀膜机筒的上方的左侧设有活塞环入口管，且在镀膜机筒的内部设有内加固筒，在待镀膜活塞环进入内加固筒内后，工作人员通过按下按钮开关，真空泵工作，通过抽空管道抽取内加固筒内空气，抽出的空气从排气栅格圈排出，使得内加固筒内环境骤渐于低压真空状态，此时，通过离子束极柱，进行磁控溅射，在低压真空状态下，对待镀膜活塞环镀膜，极大提高膜与活塞环的贴合度与平滑度，降低空气中杂质融入，提高活塞环镀膜效率。 |
