一种LED芯片全景扫描匹配方法
基本信息
| 申请号 | CN201010146190.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101813636B | 公开（公告）日 | 2012-10-10 |
| 申请公布号 | CN101813636B | 申请公布日 | 2012-10-10 |
| 分类号 | G01N21/84(2006.01)I;G01B11/03(2006.01)I;B07C5/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴涛;李斌;龚时华;黄禹;李海洲;王龙文;林康华 | 申请（专利权）人 | 东莞市华科制造工程研究院有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 广东志成华科光电设备有限公司;东莞华中科技大学制造工程研究院;东莞市华科制造工程研究院有限公司 |
| 地址 | 523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号研发楼310室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种LED芯片全景扫描匹配方法，包括：(1)检测设备对晶圆表面进行扫描并检测；(2)晶圆移送到分选设备；(3)分选设备对晶圆表面的LED芯片进行分选。步骤(1)包括：参数设置、扫描、拼接和去重，获得LED芯片位置与其参数信息的对照表RelationSheet1。步骤(3)包括：(31)分选设备对晶圆进行查找，获得LED芯片与其位置的对照表RelationSheet2；(32)将表RelationSheet1中的LED芯片的参数信息与RelationSheet2中的LED芯片的位置匹配，获得芯片的位置与参数关系的RelationSheet3；(33)分选。本发明的匹配准确，适应范围宽。 |
