研磨修复装置及硅棒加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202022772852.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214080919U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214080919U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | B24B53/017（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 钱春军;曹奇峰;李鑫;卢建伟;张峰 | 申请（专利权）人 | 杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行 |
| 代理机构 | 上海巅石知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张明;王再朝 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开一种研磨修复装置及硅棒加工设备，其中，所述研磨修复装置包括安装主体和至少一修磨部，所述至少一修磨部设于安装主体上，用于修磨对应的所述至少一研磨磨具，利用研磨修复装置的修复部与硅棒加工设备的研磨磨具的靠近和接触以实现对研磨磨具的修磨，此时，可控制修磨部沿预定方向的往复运动与对应接触的研磨磨具的旋转以提高修磨效率，有利于硅棒加工设备进行后续的对硅棒的磨面作业。 |
