一种光伏真空镀膜机中的真空复合插板阀
基本信息
申请号 | CN201920643228.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209818851U | 公开(公告)日 | 2019-12-20 |
申请公布号 | CN209818851U | 申请公布日 | 2019-12-20 |
分类号 | F16K27/00(2006.01); F16K31/04(2006.01); F16L25/00(2006.01); F16J15/06(2006.01) | 分类 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热; |
发明人 | 聂振清; 宋元恒; 梅小艳; 廖精巧; 李贵成; 郭靖; 李红; 唐雪扬 | 申请(专利权)人 | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
地址 | 646000 四川省泸州市泸州高新区酒谷大道5段19号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种光伏真空镀膜机中的真空复合插板阀,包括依次连接安装在真空镀膜机上的开合型阀门、气动插板阀及真空管道连接层,真空管道连接层上安装有载物台,载物台与真空管道连接层之间设有密封圈,真空管道连接层上安装有用于加强密封作用的密封辅助装置;密封辅助装置包括固定安装在真空管道连接层上的支架,支架上垂直固接有至少3根螺柱,螺柱上套设有可上下移动的限位板,螺柱位于限位板上方的部位上设有调节螺母;限位板与载物台之间设有多个均布排列的弹簧,弹簧的上端固接在限位板的下表面上,弹簧的下端抵靠在载物台的顶面上。改善了载物台与真空管道连接层之间的密封性不可靠,容易造成镀膜过程中真空度泄露的情况。 |
