一种基于磁性开关控制的门阀装置
基本信息
| 申请号 | CN201920692771.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209892772U | 公开（公告）日 | 2020-01-03 |
| 申请公布号 | CN209892772U | 申请公布日 | 2020-01-03 |
| 分类号 | F16K3/02（2006.01）; F16K3/30（2006.01）; F16K31/122（2006.01）; F16K31/06（2006.01）; F16K37/00（2006.01） | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 吴斌; 罗志明; 李勇河; 袁冲; 梅小艳 | 申请（专利权）人 | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
| 地址 | 646000 四川省泸州市泸州高新区酒谷大道5段19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，所述门阀装置包括阀壳、驱动气缸、连接杆、传输通道、磁性开关和阀板；所述阀壳的一侧开设有供芯片传输的传输通道，所述传输通道的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳内部设置有用于隔档所述传输通道的阀板；所述驱动气缸通过所述连接杆连接到所述阀板上通过所述驱动气缸推动所述阀板到所述传输通道处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸上设置有所述磁性开关。通过在两个驱动气缸上加装磁性开关传感装置，使应用在CIGS共蒸发镀膜沉积设备上的矩形门阀输出的开到位和关到位信号更加稳定。 |
