一种畸变测试仪
基本信息
| 申请号 | CN200810151034.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101676704B | 公开（公告）日 | 2011-05-25 |
| 申请公布号 | CN101676704B | 申请公布日 | 2011-05-25 |
| 分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵建科;张周锋;周艳;王锋;王虎;昌明 | 申请（专利权）人 | 中科创星科技投资有限公司 |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所;陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司 |
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种畸变测试仪，包括转台，该测试仪还包括光源以及显微成像系统；光源以及显微成像系统处于同一光轴上并置于转台两侧。本发明提供了一种测量精度高、效率高、结构稳定且功能可以扩展的畸变测试仪。 |
