一种RPS气体解离的漏气检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202010352492.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111397810A | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN111397810A | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | G01M3/20(2006.01)I;G01M3/26(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 徐远波;刘锐;陈杰 | 申请（专利权）人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种RPS气体解离的漏气检测方法，包括：在反应腔内加工待加工工件；将所述反应腔设置在惰性气体中；向所述反应腔内通入氧气并点燃RPS气体，再检测所述反应腔内混合气体的发射光谱数据；至少多次稳定检测到代表气体的光谱大于参考值时判断反应腔漏气。本发明具有实时监测RPS气体解离时反应腔是否发生泄漏的能力，大大提高了检测的效率且降低了检测的难度，检测的实时性好，有效提高了RPS气体解离时的安全性。 |
