一种RPS气体解离装置
基本信息
| 申请号 | CN202020679290.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212068293U | 公开（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申请公布号 | CN212068293U | 申请公布日 | 2020-12-04 |
| 分类号 | B01D53/32(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 刘锐;徐远波;尹巧星 | 申请（专利权）人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及RPS气体解离装置技术领域，具体为一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱与固定装置，阳极氧化箱两侧分别开设有进气口与出气口，进气口与出气口外侧均设有固定装置，固定装置靠近进气口一侧设有进气环，进气环外侧设有固定环，固定环内侧设有若干个呈弧形结构的夹板,夹板外壁通过轴承转动连接有支撑杆，固定环外壁靠近支撑杆的位置开设有通孔，支撑杆嵌设于通孔内部，支撑杆通过螺纹连接于通孔内部，通过夹板挤压固定导管，避免导管与进气环之间发生漏气，提高了该装置的密闭性。 |
