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一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法

基本信息

申请号 CN202010351620.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111398693A 公开（公告）日 2020-07-10
申请公布号 CN111398693A 申请公布日 2020-07-10
分类号 G01R27/26(2006.01)I 分类 -
发明人 张超;刘锐;孙鹏 申请（专利权）人 江苏神州半导体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 225000江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，该方法包括：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。本发明所示方法首先利用S参数网络分析仪计算出真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，再根据谐振频率、S21数值与ESR和Q值之间的关系可准确计算出ESR和Q值，具有测量结果准，测试过程简单方便的优点。