射频电源模拟控制器
基本信息
申请号 | CN201711443475.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108121266B | 公开(公告)日 | 2020-12-15 |
申请公布号 | CN108121266B | 申请公布日 | 2020-12-15 |
分类号 | G05B19/048 | 分类 | 控制;调节; |
发明人 | 刘锐;朱国俊 | 申请(专利权)人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
代理机构 | 北京文苑专利代理有限公司 | 代理人 | 江苏神州半导体科技有限公司;扬州市神州科技有限公司 |
地址 | 225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种射频电源模拟控制器,包括主控制板以及与主控制板相连接的SMPS、控制器件、外部输入端口、控制端口、报警指示器、状态切换开关、监测端口、监测设备、终端设备INTERLOCK和表头显示器,监测设备与监测端口相连接。本发明提供的射频电源模拟控制器,控制简单,需要的设备少,能实时记录模拟量检测结果,能实时监测反馈的状态,检测结果准确,能够方便地实时监测射频电源操作和输出稳定性能,为判断射频电源整体性能提供依据,可以很好地满足实际应用的需要。 |
