一种PVD机台搭接式防护罩
基本信息
| 申请号 | CN201821841765.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209144239U | 公开（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申请公布号 | CN209144239U | 申请公布日 | 2019-07-23 |
| 分类号 | C23C14/00;C23C14/50 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周磊;窦沛静;丁媛 | 申请（专利权）人 | 天津市凌云精密机电有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 300000 天津市河西区微山路东三水道南(天津市欧娜渔具厂院内) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘，所述内托盘的顶部安装有四个外托盘，且内托盘顶部靠近外托盘的一侧安装有四个卡板，四个所述卡板的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘，所述第一主镀膜托盘的一侧安装有第二镀膜托盘和第三镀膜托盘，所述第三镀膜托盘位于第二镀膜托盘的一侧，所述第二主镀膜托盘的一侧安装有第七镀膜托盘和第八镀膜托盘，所述第八镀膜托盘位于第七镀膜托盘的一侧，所述第三主镀膜托盘的一侧安装有第五镀膜托盘和第十镀膜托盘，本实用新型设置了内托盘、外托盘和卡板，解决了装置容易发生变形，缩短使用寿命的问题。 |
