一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统及其应用

基本信息

申请号 CN201811584590.1 申请日 -
公开(公告)号 CN109576679B 公开(公告)日 2022-03-22
申请公布号 CN109576679B 申请公布日 2022-03-22
分类号 B05D1/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 徐一凡;蓝树槐;姜天豪;黎焕明;毕飞飞 申请(专利权)人 上海治臻新能源股份有限公司
代理机构 上海世圆知识产权代理有限公司 代理人 陈颖洁;王佳妮
地址 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统,包括:进片室、进片过渡室、涂层工艺室、出片过渡室和出片室;进片室外一侧设有出口阀门,进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室的室外两侧分别设有进口阀门和出口阀门,出片室外一侧设有进口阀门;在每两个室之间设有传输室,通过阀门和传输室将各室按照顺序串联连接;样品传送装置穿过沉积系统的各室内部,形成一条闭合回路,样品架设在样品传送装置上;进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室内分别设有真空抽气装置;在涂层工艺室内的底部铺设有加热装置。本发明有效降低涂层沉积时间,实现工艺的连续化运行,对各级涂层工艺实现精确有效监管,提高了涂层的沉积效率,适用于大批量涂层的制备。