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一种微米级石英薄膜制备装置

基本信息

申请号 CN201721886514.7 申请日 -
公开（公告）号 CN207845482U 公开（公告）日 2018-09-11
申请公布号 CN207845482U 申请公布日 2018-09-11
分类号 C03B20/00;G01B11/06 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 许金山;王义平;何俊 申请（专利权）人 深圳市光子传感技术有限公司
代理机构 深圳市恒申知识产权事务所（普通合伙） 代理人 王利彬
地址 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道大运软件小镇35号楼3C
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了微米级石英薄膜制备装置，包括压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置，压力装置对石英管第一端加压，顶端加热装置向石英管第二端加热，形成包含球形薄膜结构的石英管，运动控制装置控制包含球形薄膜结构石英管侧端与光耦合装置第一端对齐，形成法布里‑珀罗干涉仪，光源装置发射的光源导入法布里‑珀罗干涉仪内形成光谱，并传送至光谱采集装置，光谱采集装置对其分析，确定侧端薄膜厚度，并将厚度满足要求的侧端薄膜确定为微米级石英薄膜，利用上述装置制备的微米级石英薄膜均匀平整，因不需研磨，操作简单，不存在易燃、易爆或有毒气体，不需采取防止环境污染措施，降低成本。