一种带温度采样功能的屏蔽栅器件
基本信息
| 申请号 | CN202210403811.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114496995B | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN114496995B | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | H01L23/544（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;G01K7/01（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李伟聪;姜春亮;雷秀芳;林泳浩 | 申请（专利权）人 | 深圳市威兆半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京惟盛达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼1301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种带温度采样功能的屏蔽栅器件，器件的元胞区包括多个常规元胞和多个采样元胞，通过利用所述采样元胞中多晶硅PN结二极管正向压降的负温度特性，将多晶硅PN结二极管作为温度传感器实时监测屏蔽栅器件的温度变化。由于采样元胞与常规元胞集成，能够更好监测到屏蔽栅器件的内部温度，从而在出现过温时及时检测，避免器件被烧毁。同时由于采样元胞的结构相对于常规元胞微调，因此采样元胞与常规元胞工艺兼容，采样相同工艺步骤制作完成，不会过多增加工艺难度，节约成本。 |
