一种晶体生长气泡消除装置

基本信息

申请号 CN202220339215.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216838264U 公开(公告)日 2022-06-28
申请公布号 CN216838264U 申请公布日 2022-06-28
分类号 C30B7/08(2006.01)I;C30B29/14(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 郑国宗;胡子钰;林秀钦;李静雯;李鹏飞 申请(专利权)人 闽都创新实验室
代理机构 北京元周律知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 350108福建省福州市闽侯县上街镇海西高新区科技园高新大道8号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种晶体生长气泡消除装置,属于晶体生长技术领域。一种晶体生长气泡消除装置,包括晶体生长槽、载晶架、电机、连接轴和旋转式扇叶;所述载晶架在晶体生长槽内;所述电机在晶体生长槽外;所述载晶架具有空心轴;所述连接轴穿过空心轴;所述连接轴和旋转式扇叶铰接;所述电机通过连接轴驱动旋转式扇叶旋转。本实用新型在不影响溶液稳定性的情况下达到消除载晶架表面气泡的目的,节省晶体生长前的准备时间,有效提高晶体生长的成功率。