一种直写光刻机吸盘压板装置
基本信息
| 申请号 | CN202010901500.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111965951A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111965951A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种直写光刻机吸盘压板装置，包括置物板，所述置物板的下端固定连接有多个支撑座，所述置物板的上端固定连接有第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和第二安装板固定连接，所述第一安装板和第二安装板上均设置有压紧机构，所述置物板的内部设置有吸附机构。本发明结构设计合理，充分的对PCB进行压紧以及吸附固定，方便提高加工时的稳定性，以保证加工的质量，同时缓冲层的设置避免对PCB的表面造成损坏。 |
