一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构
基本信息
| 申请号 | CN202021867030.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023939U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023939U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。 |
