一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置
基本信息
| 申请号 | CN202010902651.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111983902A | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN111983902A | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构，所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构，所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆，所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。本发明结构设计合理，具有方便移动与放置光刻机以及可以事先清洁物料，提高光刻机工作效率的好处。 |
