用于光刻机上的真空检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202010902638.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111965952A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111965952A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有两个压台，两个所述压台与两个支撑板之间设有传动机构，所述连接板的底部设有可以移动的真空检测装置，所述压板机构包括设置在连接板内的安装槽，所述安装槽内滑动连接有L型板，所述连接板上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓。本发明结构合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。 |
