适于接触式光刻机的分区域曝光装置
基本信息
| 申请号 | CN202021870610.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023942U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023942U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了适于接触式光刻机的分区域曝光装置，包括底座，所述底座的下表面固定连接有固定盘，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的上表面开设有凹槽，所述凹槽的内底壁固定连接有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱的上表面固定连接有托板，所述托板的上表面固定连接有工作台，所述固定柱的侧面固定连接有固定箱，所述固定箱的两侧开设有进料口。该适于接触式光刻机的分区域曝光装置，通过设置底座、固定盘、固定柱、凹槽、液压伸缩柱、托板和工作台，便于把基片放在工作台上，并启动液压伸缩柱，使其伸缩带动托板上升，托板上升带动工作台上升，工作台上升带动基片与固定箱内壁的横俺模搭接，从而达到便于对基片进行曝光的效果。 |
