光刻机上版架
基本信息
| 申请号 | CN202010902640.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111965953A | 公开（公告）日 | 2020-11-20 |
| 申请公布号 | CN111965953A | 申请公布日 | 2020-11-20 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了光刻机上版架，包括连接板和两个滑块，所述连接板的底部设有限位槽，所述限位槽内滑动连接有两个安装块，两个所述安装块与限位槽之间设有传动机构，两个所述滑块上均设有安装槽两个所述安装块分别延伸至同侧的安装槽内，两个所述安装槽内均设有两个卡槽，两个所述卡槽内均设有推动机构，两个所述安装块与同侧的卡槽之间均设有卡接机构，所述连接板的上端设有延伸槽，两个所述延伸槽内均设有与同侧安装块相连接的延伸机构。本发明结构合理，可以实现连接板与滑块之间快速安装拆卸，操作简单快捷且稳定性足，也可以调节连接板板面的大小，可以进行更稳定的支撑，也可以适用于不同的轨道，实用性较好。 |
