一种光刻机工件台移动调整装置
基本信息
| 申请号 | CN202021867036.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023940U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023940U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王群 | 申请（专利权）人 | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机工件台移动调整装置，包括工件箱，所述工件箱的内部放置有工件台，所述工件箱的内底壁设置有校准机构，所述工件台的下表面转动连接有若干个移动滚轮，所述工件箱的内底壁固定连接有与移动滚轮相适配的滚槽，所述工件台的两侧均设置有定位机构，所述工件台的背面固定连接有固定块。该光刻机工件台移动调整装置，通过固定块和固定销相配合，可以固定整个工件台的位置，使其在工作的过程中不易移动，通过同步驱动电机可以同步驱动移动滚轮，可以使移动滚轮沿着滚槽的方向移动，从而达到了移动滚轮可以带动整个工件台移动的效果，工件台移出后方便光刻机的维护与保养。 |
